Di seguito alcuni esempi di riferimento di analisi effettuate tramite la sonda SEM-EDS per la rilevazione della composizione superficiale.
Campione in ceramica
Il materiale analizzato in questo caso è composto da silicio, alluminio e ossidi metallici, tra cui tracce di ossido di magnesio (MgO) e ossido di ferro III (Fe2O3).

Mappa EDS (rettangolo): i colori indicano i singoli elementi rilevati e la loro intensità è proporzionale alla quantità di ciascun elemento

Grafico EDS degli elementi riscontrati sul campione e quantificazione relativa
| Elemento | Tipo di linea | Concentrazione apparente | Rapporto k | Wt% | Sigma Wt% |
| C | 14.64 | ||||
| O | Serie K | 74.02 | 0.24910 | 38.99 | 0.09 |
| Na | Serie K | 0.60 | 0.00251 | 0.38 | 0.04 |
| Al | Serie K | 38.24 | 0.27466 | 40.44 | 0.10 |
| Si | Serie K | 4.62 | 0.03659 | 5.55 | 0.07 |
| Totale: | 100.00 |
Tabella dati: l’analisi EDS ha consentito una quantificazione dell’intensità del segnale, permettendo la comparazione dei campioni appartenenti a diversi lotti o fornitori.
Filamento in tungsteno
Il filamento è di una lampadina alogena ad incandescenza viene analizzato per determinare la morfologia della serpentina e la natura del materiale mediante analisi elementale.

Mappa EDS (rettangolo): i colori indicano i singoli elementi rilevati e la loro intensità è proporzionale alla quantità di ciascun elemento

Grafico EDS della regione mappata che mostra la composizione elementale
| Elemento | Tipo di linea | Concentrazione apparente | Rapporto k | Wt% | Sigma Wt% |
| C | 0.01 | ||||
| O | Serie K | 0.00 | 0.00000 | 0.01 | 1.03 |
| W | Serie M | 18.19 | 0.18190 | 99.98 | 0.00 |
| Totale: | 100.00 |
Tabella dati: l’analisi EDS ha consentto la quantificazione del materiale e la determinazione dell’assenza di contaminanti a livello superficiale.



